立式氧化/扩散炉建模与调度研究-

[摘要]:立式氧化/伸开炉是半指挥一贯作业捏造体系前顺序的要紧技术流水作业线配件,它批量活动晶圆。,长变得越来越大处置工夫,它是半指挥一贯作业捏造体系的首要瓶颈路段经过。。立式氧化/伸开炉把持制度的功能立即撞击晶圆创造的本钱,调整算法是把持制度高效运转的钥匙。

本文率先理智某典型立式氧化/伸开炉的活动追逐停止方面靶子Petri网建模,将立式氧化/伸开炉按勤勉划分为片架台、翻钢机和技术管腔的三种靶子,地区创建靶子Petri网,本VANAR的靶子相干建立工作关系静态功能剖析,结构出功能良好的立式氧化/伸开炉活动追逐的方面靶子Petri网,使用方面靶子发展体系把持软件的根本追逐;为了更远的剖析立式氧化/伸开炉的单机调整和多机调整,混合其活动特点和捏造约束创建了立式氧化/伸开炉的调整混合Petri网,剖析了调整算法中需求处置的成绩。。

在上述的建模与剖析学说的按照,设计了杂多的典型的晶圆抵达工夫可预测使处于某种特定的情况之下。,以最低限度总使完满工夫为目的,本粒子群遗传算法的单机多机调整算法。单机调整算法本总批数最小和抵达工夫贴连的片盒停止组批的准绳结构组批办法搜索集,粒子群优化组合(PSO)用于每个一批的一批排序。,过后来最优的变得越来越大变得越来越大处置和排序胜利。。多机调整算法采取与单机相等的的办法,粒子群优化组合算法(PSO)用于求解变得越来越大处置成绩,各配件采取先到后处置的排序管理。,够用,来最优群批。、散布和排序胜利。留存,削成使承受压力/无秩序地累积技术对半指挥批量捏造的撞击,本文的建模剖析胜利阐明帮忙在调整算法中独立思索晶圆加/无秩序地累积所需的工夫,依据,本文切中要害调整算法先前使突出了使承受压力/统一。,在尽量的墨盒抵达一批T从前装载已抵达的削成。本实践配件参量的数值仿照,确切的晶圆量级下调整算法的运算突如其来的强劲气流、调整功能与反复功能,还坚信礼了削成装载制图可以实际上优化组合。

够用理智某典型立式氧化/伸开炉体系把持软件的发展索赔,采取MATLAB和C#使假释出狱混合预调将单机调整算法实践应用到立式氧化/伸开炉的把持制度中。CI使处于某种特定的情况之下中配件参量的顺序试验交界面、削成参量和技术参量的出口和调整RE的出口,对古怪的调整器的参量转交和操作追逐停止了试验。。

[程度赋予单位]:清华大学
[程度程度]:硕士
[程度赋予年]:2011
[混合物号]:TN305

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